大阪教育大学 / 大学院教育学研究科総合基礎科学専攻
研究内容
銅粒子を含んだジアリールエテン膜上におけるレーザ走査を使った金属蒸着選択性による微細有機メモリの作成 / Minute Organic Memory Fabricated by Laser Scanning and Selective Metal-Vapor Deposition of a Diarylethene–Cu Composite Film ■要約 有機物を使ったエレクトロニクスの分野における主な課題の 1 つとして、電気部品の微細化があります。これは、有機膜上に電極となる微細な金属パターンを作製することが困難であるいうことが原因となっています(最小で数十マイクロメートルサイズ)。 従来の金属電極を作る方法はシャドーマスクを用いた真空蒸着であり、シャドーマスクの解像度限界によって電極サイズが制限されていました。 一方で、ジアリールエテン分子には金属蒸着選択性という、UVを照射したところに金属を蒸着すると、照射したところのみに堆積する特性を持ちます。本研究では、UVレーザー走査とこの蒸着選択性を用いたマスクレス蒸着によって微細な有機メモリの作製を試み、1マイクロメートルサイズの有機メモリの作製に成功しました。